தொழில்நுட்ப ஒப்பீடு: அரைக்கும் எதிராக மெருகூட்டல்
பரிமாணம்
அரைக்கும்
மெருகூட்டல்
முக்கிய நோக்கம்
சரியான வடிவியல் பிழைகள் (தட்டையானது/சுற்று), பரிமாண துல்லியத்தை கட்டுப்படுத்துங்கள்
மேற்பரப்பு பளபளப்பை மேம்படுத்துதல், மைக்ரோ கீறல்களை அகற்றுதல், கண்ணாடி பூச்சு அடையலாம்
செயலாக்க கொள்கை
கடினமான சிராய்ப்பு துகள்கள் (எ.கா., வைர, சிலிக்கான் கார்பைடு) வெட்டு அகற்றுதல்
நெகிழ்வான நடுத்தர (மெருகூட்டல் பேஸ்ட்/சக்கரம்) பிளாஸ்டிக் சிதைவு மற்றும் மைக்ரோ-ஆஸ்பிரிட்டி தட்டையானது
பொருள் அகற்றுதல்
மைக்ரான்-நிலை (கரடுமுரடான/அரை முடித்தல்)
துணை மைக்ரான் (<0.1μm, முடித்தல்)
மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை
RA 0.025 ~ 0.006μm (நானோ அளவிலான அல்ட்ரா-துல்லியமானது)
RA 0.01 ~ 0.001μm (ஆப்டிகல் கிரேடு <0.5nm)
உபகரணங்கள்/கருவிகள்
அரைக்கும் சக்கரங்கள்/பெல்ட்கள்/வட்டுகள் (பொருந்திய சிராய்ப்பு தானிய அளவு மற்றும் கடினத்தன்மை)
மெருகூட்டல் சக்கரங்கள் (கம்பளி/பாலியூரிதீன்), மெருகூட்டல் பேஸ்ட்கள் (அலுமினா/குரோமியம் ஆக்சைடு மைக்ரோபோடர்கள்)
செயல்முறை அளவுருக்கள்
உயர் அழுத்தம் (0.01 ~ 0.1MPA), குறைந்த வேகம் (10 ~ 30 மீ/வி)
குறைந்த அழுத்தம் (<0.01MPA), அதிவேக (30 ~ 100 மீ/வி)
வழக்கமான பயன்பாடுகள்
துல்லியமான இயந்திர பாகங்கள், குறைக்கடத்தி செதில் முன் செயலாக்கம், ஆப்டிகல் உறுப்பு முரட்டுத்தனம்
ஆப்டிகல் லென்ஸ்கள், அலங்கார பாகங்கள் (எ.கா., தொலைபேசி வழக்குகள்), உயர் துல்லியமான அச்சு முடித்தல்
முக்கிய வேறுபாடுகள்